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PLUTO-MH国产等离子刻蚀机设备是一种用于微纳米加工的关键设备,主要用于半导体、光电子、纳米材料等领域的微细加工和表面处理。等离子刻蚀技术是半导体制造中的关键步骤,它在制备微电子器件、光电子器件、MEMS、太阳能电池等多种电子产品中发挥着重要作用。